YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材

标准编号：YS/T 1053-2015

标准名称：电子薄膜用高纯钴靶材

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

起草人

王学泽、李勇军、郑文翔等

起草单位

宁波江丰电子材料股份有限公司，有研亿金新材料有限公司

适用范围

本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。