YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉

标准编号：YS/T 1068-2015

标准名称：制备钌靶用钌粉

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

起草人

谭志龙、郭俊梅、熊晓东等

起草单位

贵研铂业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院

适用范围

本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉（以下简称钌粉）。