YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法

标准编号：YS/T 1059-2015

标准名称：硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

起草人

刘英杰、郑华荣、柯尊斌等

起草单位

中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司等

适用范围

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。