GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢

标准编号：GB/T 16942-2009

代替了下列标准：GB/T 16942-1997

标准名称：电子工业用气体 氢

英文名称：Hydrogen for electronic industry

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-05-01

起草人

周泽义、周鹏云

起草单位

中国计量科学研究院、西南化工研究设计院

适用范围

u3000u3000本标准规定了电子工业用氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。