GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦

标准编号：GB/T 16943-2009

代替了下列标准：GB/T 16943-1997

标准名称：电子工业用气体氦

英文名称：Gas for electronic industry - Helium

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-05-01

起草人

刘泽军、付永成、赵俊秀、周鹏云

西南油气田分公司成都天然气化工总厂、西南化工研究设计院、北京氦普北分气体工业有限公司

u3000u3000本标准规定了氦的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制照中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。