GB/T 1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

标准编号：GB/T 1554-2009

代替了下列标准：GB/T 1554-1995

标准名称：硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

英文名称：Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

起草人

何兰英、王炎、张辉坚、刘阳

峨嵋半导体材料厂

u3000u3000本标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。