GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法

标准编号：GB/T 14145-1993

标准名称：硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法

英文名称：Test method for stacking fault density of epitaxial layers of silicon by interference-contract microscopy

发布日期：1993-02-06

实施日期：1993-10-01

起草单位

上海有色金属研究所

适用范围