GB/T 14144-1993 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

标准编号：GB/T 14144-1993

标准名称：硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

英文名称：Test method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon

发布日期：1993-02-06

实施日期：1993-10-01

起草单位

中科院上海冶金研究所

适用范围