GB/T 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
标准编号：GB/T 14141-1993
标准名称：硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
英文名称：Test method for sheet resistance of silicon epitaxial，diffused and ion-implanted layersusing a collinear four-probe array
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
起草单位
峨眉半导体材料研究所
适用范围
