GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
标准编号：GB/T 14146-1993
标准名称：硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
英文名称：Silicon epitaxial layers--Determination of carrier concentration--Mercury probe Valtage-capacitance method
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
起草单位
上海市有色金属总公司
适用范围
