JB/T 4082-1991 溅射离子泵技术条件

标准编号：JB/T 4082-1991

标准名称：溅射离子泵技术条件

发布日期：1991-07-22

实施日期：1992-07-01

适用范围

u3000u3000本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。 u3000u3000本标准适用于JB/T 4081所规定的二级型（L型）和三极型（3L型）的溅射离子泵。