JB/T 4081-1991 溅射离子泵型式与基本参数

标准编号：JB/T 4081-1991

标准名称：溅射离子泵型式与基本参数

发布日期：1991-07-22

实施日期：1992-07-01

适用范围

u3000u3000本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。 u3000u3000本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射子泵。