GB/T 47625-2026 精细陶瓷 平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜（晶圆）结晶质量

标准编号：GB/T 47625-2026

标准名称：精细陶瓷 平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜（晶圆）结晶质量

英文名称：Fine ceramics—Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam

发布日期：2026-05-25

实施日期：2026-12-01

起草人

赵升升、张小波、白敬胜、万德田、宋小平、王邃、吴春生、李俊克、张亚萍、何彩梅、骆丽平、包亦望、谭晓逸、王增辉、王红英、王洪升、裴郁、张萌、王陶、张旭亮、招刚

起草单位

深圳职业技术大学、昆明理工大学、中材新材料研究院（广州）有限公司、上海超硅半导体股份有限公司、中国质量标准出版传媒有限公司、京隆科技（苏州）有限公司、深圳市防伪溯源协会、深圳市速普仪器有限公司、季华实验室、中材高新材料股份有限公司、山东工业陶瓷研究设计院有限公司、绍兴芯纪源电子科技有限公司、深圳市东汇精密机电有限公司

适用范围

本文件描述了采用平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜(晶圆)结晶质量的方法。

本文件适用于所有块体或外延层结构的单晶薄膜(晶圆)使用光束X射线衍射法的结晶质量的测定。