GB/T 30118-2026 声表面波(SAW)器件用单晶晶片 规范与测量方法
标准编号:GB/T 30118-2026
代替了下列标准:GB/T 30118-2013
标准名称:声表面波(SAW)器件用单晶晶片 规范与测量方法
英文名称:Single crystal wafers for surface acoustic wave (SAW) device applications—Specifications and measuring methods
发布日期:2026-08-28
实施日期:2027-03-01
起草人
石自彬、贝伟斌、徐秋峰、朱中晓
起草单位
中国电子科技集团公司第二十六研究所、天通控股股份有限公司、中电科技德清华莹电子有限公司、北京石晶光电科技股份有限公司
适用范围
本文件界定了人造石英、铌酸锂(LN)、钽酸锂(LT)、四硼酸锂(LBO)和硅酸镓镧(LGS)等单晶晶片的术语,规定了技术要求和抽样方案,描述了相关检验及测量方法。
本文件适用于用作声表面波(SAW)滤波器和谐振器基片材料的单晶晶片,包含人造石英、铌酸锂(LN)、钽酸锂(LT)、四硼酸锂(LBO)和硅酸镓镧(LGS)等。

