GB/T 48096-2026 微机电结构动态位移参数的激光多普勒测量方法

标准编号：GB/T 48096-2026

标准名称：微机电结构动态位移参数的激光多普勒测量方法

英文名称：Laser Doppler measurement method for dynamic displacement parameters of micro-electromechanical structures

发布日期：2026-08-28

实施日期：2027-03-01

起草人

宋云峰、王忠伟、尉昊赟、姜利军、桑梅、宋青林、王正才、邓黄燕、胡敏、刘福民、罗坤杰、朱俊铭、项国平、董洁、费强、周志海、李方浩、王璞、王敏昌、薛超、劳云峰、姚磊、张沛、林磊、霍树春、陈亮、杨哲霖、徐小选、吴德林、魏云、张子怡

起草单位

浙江舜辉光学科技有限公司、中国计量大学、清华大学、杭州士兰微电子股份有限公司、天津大学、舜宇集团有限公司、宁波职业技术大学、苏州明皜传感科技股份有限公司、北京清华长庚医院、中国科学院微电子研究所、余姚舜宇智能光学技术有限公司、中国科学院空天信息创新研究院、浙江大立科技股份有限公司、天地伟业技术有限公司、歌尔微电子股份有限公司、浙江省质量科学研究院、浙江宇视科技有限公司、苏州热工研究院有限公司、北京航天控制仪器研究所

适用范围

本文件规定了微机电结构动态位移参数激光多普勒测量的原理、测量条件、仪器设备、样品、测量步骤。

本文件适用于微机电结构研制、设计、生产和检测。