GB/T 19199-2015 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

标准编号：GB/T 19199-2015

代替了下列标准：GB/T 19199-2003

标准名称：半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

英文名称：Test method for carbon acceptor concentration in semi-insulating gallium arsenide single crystals by infrared absorption spectroscopy

发布日期：2015-12-10

实施日期：2016-07-01

起草人

何秀坤、李静、张雪囡

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子材料行业协会、天津市环欧半导体材料技术有限公司

适用范围

本标准规定了半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法。 本标准适用于电阻率大于10^6Ω·cm 的非掺杂和碳掺杂半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的测定。测量范围:室 温 下 从 1.0×10^15 atoms/cm3 到 代 位 碳 原 子 的 最 大 溶 解 度,77 K 时 检 测 下 限 为4.0×10^14atoms/cm3。