GB/T 32282-2015 氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法

标准编号：GB/T 32282-2015

标准名称：氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法

英文名称：Test method for disoclation density of GaN single crystal—Cathodoluminescence spectroscopy

发布日期：2015-12-10

实施日期：2016-11-01

起草人

曾雄辉、张燚、刘争晖、邱永鑫、董晓鸣、牛牧童、王建峰、徐科

起草单位

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司

适用范围

本标准规定了用阴极荧光显微镜法测试氮化镓单晶位错密度的方法。 本标准适用于位错密度在1×10^3 个/cm2~5×10^8 个/cm2 之间的氮化镓单晶中位错密度的测试。