GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定化学腐蚀法

标准编号：GB/T 30868-2014

标准名称：碳化硅单晶片微管密度的测定化学腐蚀法

英文名称：Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers―Chemically etching

发布日期：2014-07-24

实施日期：2015-02-01

起草人

丁丽、周智慧、郝建民、蔺娴

中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院

本标准规定了利用熔融氢氧化钾腐蚀法测定碳化硅单晶微管密度的方法。本标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。