GB/T 1555-2009 半导体单晶晶向测定方法

标准编号：GB/T 1555-2009

代替了下列标准：GB/T 1555-1997

标准名称：半导体单晶晶向测定方法

英文名称：Testing methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

起草人

杨旭、何兰英

起草单位

峨嵋半导体材料厂

适用范围

u3000u3000本标准规定了半导体单晶晶向X射线衍射定向和光图定向的方法。 u3000u3000本标准适用于测定半导体单晶材料大致平行于低指数原子面的表面取向。