GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼

标准编号：GB/T 14603-2009

代替了下列标准：GB/T 14603-1993

标准名称：电子工业用气体 三氟化硼

英文名称：Gases for electronic industry - Boron trifluoride

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-05-01

起草人

邓建平、倪志强、孙福楠、周鹏云

起草单位

核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院

适用范围

u3000u3000本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。 u3000u3000本标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。