GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨

标准编号：GB/T 14601-2009

代替了下列标准：GB/T 14601-1993

标准名称：电子工业用气体 氨

英文名称：Gas for electronic industry - Ammonia

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-05-01

起草人

孙福楠、刘泽军、周鹏云、付永成、谢国清

起草单位

大连光明化工研究院、武汉市鼎立化工有限责任公司、中国西南油气田成都天然气化工总厂、西南化工研究设计院

适用范围

u3000u3000本标准规定了氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 u3000u3000本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。