GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

标准编号：GB/T 4059-2007

代替了下列标准：GB/T 4059-1983

标准名称：硅多晶气氛区熔基磷检验方法

英文名称：Polycrystalline silicon - examination method - zone - melting on phosphorus under controlled atomosphere

发布日期：2007-09-11

实施日期：2008-02-01

起草单位

蛾眉半导体材料厂

适用范围

本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。本标准检测杂质浓度的有效范围：0．002×10-9～100×10-9。