GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法

标准编号：GB/T 4060-2007

代替了下列标准：GB/T 4060-1983

标准名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法

英文名称：Polycrystalline silicon - examination method - vacuum zone - melting on boron

发布日期：2007-09-11

实施日期：2008-02-01

起草单位

峨眉半导体材料厂

本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的检验。本标准检测杂质浓度有效范围：0．002 X 10-9～100X 10-9。