GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

标准编号:GB/T 8758-2006

代替了下列标准:GB/T 8758-1988、GB/T 8758-1989

标准名称:砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

英文名称:Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference

发布日期:2006-07-18

实施日期:2006-11-01

起草人

王彤涵

起草单位

北京有色金属研究总院

适用范围

本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量,测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω?cm,外延层的电阴率大于0.1Ω?cm。

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