GB/T 5252-2006 锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法

标准编号：GB/T 5252-2006

代替了下列标准：GB/T 5252-1985

标准名称：锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法

英文名称：Germanium monocrystal - inspection of dislocation etch pit density

发布日期：2006-07-18

实施日期：2006-11-01

起草人

余怀之、刘建平

起草单位

北京有色金属研究总院

适用范围

本标准适用于位错密度0cm-2～100 0000cm-2的n型和p型锗单晶棒或片的位错密度或其他缺陷的测量．观察面为(111)(100)(113)面。