GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件

标准编号：GB/T 15862-1995

标准名称：离子注入机通用技术条件

英文名称：Generic specification for ion implantation equipment

发布日期：1995-12-22

实施日期：1996-08-01

起草单位

电子工业部第四十八研究所

适用范围

本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。