GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件

标准编号：GB/T 15861-1995

标准名称：离子束蚀刻机通用技术条件

英文名称：Generic specification of ion beam etching system

发布日期：1995-12-22

实施日期：1996-08-01

起草单位

电子部长沙半导体工艺设备所

适用范围

本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。