GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

标准编号：GB/T 1554-1995

标准名称：硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

英文名称：Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques

发布日期：1995-04-18

实施日期：1995-12-01

起草单位

峨嵋半导体材料厂

适用范围