GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法

标准编号：GB/T 14140.1-1993

标准名称：硅片直径测量方法 光学投影法

英文名称：Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method

发布日期：1993-02-06

实施日期：1993-10-01

起草单位

洛阳单晶硅厂

适用范围