GB/T 14143-1993 300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法

标准编号：GB/T 14143-1993

标准名称：300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法

英文名称：300～900μm Silicon slices--Measuring of interstitial oxygen content--Infrared absorption method

发布日期：1993-02-06

实施日期：1993-10-01

起草单位

机电部第四十六研究所

适用范围