T/CI 961-2025 半导体设备用碳化硅陶瓷零部件

标准编号：T/CI 961-2025

标准名称：半导体设备用碳化硅陶瓷零部件

英文名称：Silicon carbide ceramic components for semiconductor equipment

发布日期：2025-04-15

实施日期：2025-04-15

起草人

徐斌、徐勤龙、李季、陈诚、宋宝山、沈赟、马坤、罗统斌、薛振坤、袁洪峰

起草单位

宁波伏尔肯科技股份有限公司、山田新材料集团有限公司、绍兴晶彩科技有限公司、广西三元华鑫特种陶瓷有限公司、江苏晶孚新材料科技有限公司

适用范围

本文件规定了半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的术语和定义、产品结构和分类、生产工艺、技术要求、试验方法、检验规则和应用。

本文件适用于半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的生产制造和应用。