GB/T 32996-2025 表面化学分析辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

标准编号：GB/T 32996-2025

代替了下列标准：GB/T 32996-2016

标准名称：表面化学分析辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

英文名称：Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow discharge optical emission spectrometry

发布日期：2025-06-30

实施日期：2026-01-01

起草人

陈永康、徐建、张笑旻、郝萍、刘芬、吴立敏、赵志娟、张云艳、王帅、周莹

上海市计量测试技术研究院、中国科学院化学研究所、上海科技大学

本文件描述了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。

本方法适用于测定金属上厚度为5nm~10000nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰、锆和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。