DB13/T 6140-2025 碳酰氟中杂质的测定

标准编号：DB13/T 6140-2025

标准名称：碳酰氟中杂质的测定

发布日期：2025-05-27

实施日期：2025-06-03

起草人

倪珊珊、郑秋艳、崔雯、苏子杰、滕莹、魏晓娟、王蒙蒙、张露露

起草单位

中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司

适用范围

本文件规定了电子工业用气体碳酰氟中杂质的检测原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。

本文件适用于电子工业用气体碳酰氟中氢气、氧气+氩气、氮气、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、三氟化氮、氧化亚氮和氟化氢的测定。