DB13/T 6137-2025 高纯六氟化钨中杂质的检测

标准编号：DB13/T 6137-2025

标准名称：高纯六氟化钨中杂质的检测

发布日期：2025-05-27

实施日期：2025-06-03

起草人

马茜茜、崔雯、安园园、张露露、滕鑫胜、殷越玲、陈琛、李帅楠

起草单位

中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司

适用范围

本文件规定了电子工业用气体高纯六氟化钨中杂质的检测原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。

本文件适用于电子工业用气体高纯六氟化钨中氧+氩、氧气、一氧化碳、四氟化碳、二氧化碳、六氟化硫、四氟化硅、氟化氢、金属元素含量的测定。