SJ/T 11450-2023 单晶炉能源消耗规范

标准编号：SJ/T 11450-2023

标准名称：单晶炉能源消耗规范

英文名称：Specification for energy consumption norm of silicon single crystal grower

发布日期：2023-12-29

实施日期：2024-04-01

起草人

黄鸣、丁文革、谭三成、常晓鱼、张生春

北京北方华创真空技术有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京赛西认证有限责任公司

本文件规定了单晶炉能源消耗等级指标、可比单耗计算方法和评价规则。

本文件适用于装料量为420kg~1500kg的单晶炉。