SJ/T 11183-2022 旋转式涂覆设备通用规范

标准编号：SJ/T 11183-2022

代替了下列标准：SJ/T 11183—1998

标准名称：旋转式涂覆设备通用规范

英文名称：General specification for spin coater

发布日期：2022-10-20

实施日期：2023-01-01

起草人

宗润福、徐春旭、刘正伟、冯亚彬

起草单位

沈阳芯源微电子设备有限公司、中国电子技术标准化研究院

适用范围

本文件规定了旋转式涂覆设备的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。

本文件适用于泛半导体微纳加工光刻工艺制程中的旋转式涂覆设备（以下简称设备）。