GB/T 41805-2022 光学元件表面疵病定量检测方法显微散射暗场成像法

标准编号：GB/T 41805-2022

标准名称：光学元件表面疵病定量检测方法显微散射暗场成像法

英文名称：Methodology for the quantitative inspection of the defect on optics surface—Microscopic scattering dark-field imaging

发布日期：2022-10-14

实施日期：2023-05-01

起草人

杨甬英、曹频、刘旭、刘世杰、李炜娜、麦启波、李刚、杨李茗、胡丽丽、徐晓飞、黄木旺

浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所、江苏皇冠新材料科技有限公司、杭州晶耐科光电技术有限公司、中国工程物理研究院激光聚变研究中心、中国兵器工业标准化研究所、福建福特科光电股份有限公司

本文件描述了采用显微散射暗场成像法对光学元件表面疵病进行定量检测的检测原理、试验条件、仪器设备、样品、检测步骤、试验数据处理和检测报告。

本文件适用于平板类双面抛光光学元件表面疵病的长度、宽度、挡光面积以及疵病位置检测。