XB/T 515-2020 钪铝合金靶材

标准编号：XB/T 515-2020

标准名称：钪铝合金靶材

发布日期：2020-12-09

实施日期：2021-04-01

适用范围

本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材，主要用于半导体及光电等领域。