GB/T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准

标准编号：GB/T 29732-2021

代替了下列标准：GB/T 29732-2013

标准名称：表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准

英文名称：Surface chemical analysis—Medium resolution auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis

发布日期：2021-12-31

实施日期：2022-07-01

起草人

姚文清、杨立平、段建霞、李展平、徐同广、王雅君

起草单位

清华大学、中国石油大学（北京）

适用范围

本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3 eV时的校准方法，用于识别表面常规元素。另外，本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。

本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%，微分模式调制幅度的峰值为2eV，配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法，具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。