T/ICMTIA PC007-2021 集成电路用氢氟酸

标准编号：T/ICMTIA PC007-2021

标准名称：集成电路用氢氟酸

发布日期：2021-05-31

实施日期：2021-07-30

起草人

陈刚、周黎旸、童继红、张学良、贺辉龙、赵晓亚、程文海、朱智敏、蒋梁疏、杨建成、徐建仙

起草单位

中巨芯科技有限公司

适用范围