T/BSPT 001-2018 微纳加工基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构加工方法

标准编号：T/BSPT 001-2018

标准名称：微纳加工基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构加工方法

英文名称：Micro/nanofabrication Large-area Surface Three-dimensional Micro/nanostructure Fabrication Method Based on Laser-induced Strain

发布日期：2018-06-20

实施日期：2018-07-01

起草人

刘前、张浩然、郭传飞、葛广路

起草单位

国家纳米科学中心、南方科技大学

适用范围

本标准规定了基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构加工方法。

本标准适用于在晶元级表面上，利用激光诱导调控多层膜体系的应变结构，设计并制备各种表面三维微纳结构。