DB1310/T 227-2020 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范

标准编号：DB1310/T 227-2020

标准名称：电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范

发布日期：2020-10-16

实施日期：2020-11-16

起草单位

廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司

适用范围

本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术