DB31/ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额

标准编号：DB31/ 506-2020

代替了下列标准：DB31/ 506-2010

标准名称：集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额

发布日期：2020-09-25

实施日期：2020-12-01

适用范围