SJ/T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求

标准编号：SJ/T 11762-2020

标准名称：半导体设备制造信息标识要求

发布日期：2020-12-09

实施日期：2021-04-01

起草人

冯亚彬、程朝阳、钟华 等

起草单位

中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司等

适用范围

适用于半导体设备制造信息标识