JB/T 13872-2020 平面相移干涉仪

标准编号：JB/T 13872-2020

标准名称：平面相移干涉仪

发布日期：2020-04-16

实施日期：2021-01-01

适用范围

本标准规定了平面相移干涉仪的术语和定义、型式、基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

本标准适用于利用微位移机构检验光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉仪（以下简称仪器）。