YS/T 1164-2016 硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法

标准编号：YS/T 1164-2016

标准名称：硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法

发布日期：2016-07-11

实施日期：2017-01-01

适用范围

本标准规定了多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定方法。

本标准适用于多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定，测定范围见表1。