YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

标准编号：YS/T 23-2016

代替了下列标准：YS/T 23-1992

标准名称：硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

发布日期：2016-04-05

实施日期：2016-09-01

适用范围

本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。

本标准适用于在＜111>、＜100>和＜110> 晶向的硅单晶衬底上生长的2μm~120μm硅外延层厚度的测量。