SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法

标准编号：SJ/T 31080-2016

代替了下列标准：SJ/T 31080-1994

标准名称：光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法

发布日期：2016-01-15

实施日期：2016-06-01

起草人

张倩、石少青、辛士卓 等

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所

适用范围

本标准规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法。

本标准适用于3600F型图形发生器，其他型号图形发生器(如3600型、EM250型等)可参照本标准并结合该设备的具体指标检查评定。