SJ/T 11501-2015 碳化硅单晶晶型的测试方法

标准编号：SJ/T 11501-2015

标准名称：碳化硅单晶晶型的测试方法

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

起草人

丁丽、郝建民、周智慧 等

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院

适用范围

本标准规定了利用拉曼光谱定碳化硅单晶结晶类的方法。 本标准适用于碳化硅单晶晶型的测定。