YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉

标准编号：YS/T 1031-2015

标准名称：化学气相沉积炉

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

起草人

戴煜、 胡祥龙、 胡高健等

起草单位

湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等

适用范围

本标准适用于化学气相沉积。